预约须知

1. 膜本身的厚度测试范围是0.5nm-10um（不含基底），目前可测范围，最低200nm，最高30000nm，不同的测试范围，其他测试条件会有所不同，具体可与项目经理沟通确认；

2. 确保样品上下表面平整，否则测不了；

3. 确保被测表面光滑，测试时能有反射光束被接收，否则测不了。送样前可以通过激光笔照射样品表面，能观察到有反射光束方可；

4. 如果被测样品是透明块体（不是膜），底面需要经过打磨成毛玻璃状，防止反射光；

5. 确保被测区域面积大于5mm²；

6. 有基底的样品需提供一份空白基底方便拟合。基底若需要单独测试，请在备注中说明，否则会选用数据库中的基底数据进行分析。基底测试需要收取一定的费用，具体和与项目经理联系,

椭偏仪

测试项目：

a. n（折射率）,k（消光系数）值

b. 膜厚

常规椭偏仪的光谱测试范围370到1000nm，其他范围请咨询项目经理400-831-0631

膜厚的测试范围是0.5nm-10um。

样品要求：

1. 样品状态：材料一般为块状或薄膜，大小无特殊要求；

2. 如果有基底的膜层结构要做折射率和消光系数，基地厚度要求越厚越好，膜层厚度要在10um以下，如果是单层膜样品，没有基底，膜厚越厚越好，最好500um以上；膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀，基底不需要透明。

3.特殊情况需提前沟通。

常见问题及回答：

关于测试光谱范围的选择？

椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。